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气浮并联负刚度主动隔振平台ZVI-FV系列
特点
空气弹簧支撑，磁负刚度机构
机械式倒立摆负刚度机构并联正刚度机构
6自由度主动隔振
主动隔振带宽低至0.5Hz起
标品负载最大支持4600-6200KG
水平向电机峰值推力高达160N
总体规格（长、宽、高）多种规格可选
核心控制系统全部自研
核心部件国产化
技术指标
主动隔振带宽：0.5-150Hz
台面稳定性：≤±5um
传递率：≤-20dB@2Hz，≤-35dB@5Hz，≤-45dB@10Hz
水平向电机峰值推力高达160N
系统支持最大功率700W
台面平面度：NTBP：0.02-0.05mm/600mm ×600mm
NTBK：0.1mm/600mm×600mm
大理石台面：0级、1级、2级、3级可选（GB/T20428-2006）
台面厚度：100/200/300mm
孔径：可定制孔径
孔距：可定制孔距或特殊位置打孔
标品单腿最大承载能力：1600Kg
气浮并联负刚度主动隔振平台ZVI-FV系列命名规则
选型表：（-K、-O参考具体台面信息）
产品型号 | 整体规格 （L*W：mm） | 台面上负载要求（kg） | 台面厚度（mm） | 隔振器规格 (L*W*H:mm) | 单腿重量 |
ZVI-FV-30-12M | 3000×1200 | 100-1000 | 350 | 374×220×200 | 35kg |
ZVI-FV-30-12M-Z（重载） | 3000×1200 | 100-2000 | 400 | 360×250×200 | 35Kg |
尺寸图：
型号 | 尺寸（ mm） | ||||
L | W | T | H1 | H2 | |
ZVI-FV-30-12M | 3000 | 1200 | 350 | 900 | 550 |
ZVI-FV-30-12M-Z （重载） | 3000 | 1200 | 400 | 900 | 500 |
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